VFR 型
利用旋风除尘效果和滤芯去除从真空发生器和真空泵吸入的灰尘和水分。
大容量尘盒，减少保养次数。
亦可选安装于真空发生器排气侧的排气气路用。

VFB 型

可一键式拆卸尘盒，防止灰尘散乱。

安装于真空吸盘和真空发生器，或者真空泵与装置之间使用的真空气路用。

VFL 型

流量为360 ℓ／ min〔ANR〕。重视流量的大容量型。
安装于真空吸盘和真空发生器，或者真空泵与装置之间使用的真空气路用。
可根据用途从1 ㎛、5 ㎛、10 ㎛、200 ㎛4 种过滤度中选择。
连接形状选择空间丰富。
VFU2, 3 型
可简单安装于配管之中，管道阻力小而稳定。

FU0, 1 型
最小容量型。非常适合用于对真空系统的高循环化有要求的产业。

滤芯尺寸（过滤面积）可从2 种之中选择。（仅限VFU1 型）。

IN 侧、OUT 侧的连接形状，可从快速接头和内螺纹型中选择。

-S3 规格

VFU1, 2, 3 型可对应需要「无铜离子」・「对应低浓度臭氧环境」的行业。

VFJ 型

适合非内置过滤器的单体型真空发生器。
将本体和插头一体化。树脂材料使用PP（聚丙烯），降低价格。
插座内部带过滤功能。